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RTP-滑動(dòng)式快速退火爐，產(chǎn)品應(yīng)用：該系列電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。

滑動(dòng)式快速退火爐：該系列電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。